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TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統

簡要描述:

TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統
三溫區管式爐主要用途:陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統

三溫區管式爐主要用途:陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統

三溫區管式爐主要功能和特点:

1.設備的控制系統具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度範圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區多、可選配氣氛、抽真空等。

三溫區管式爐技术参数:

1

日本一在线中文字幕型號

TN-G1700S

2

炉 膛

高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好。

3

爐管尺寸

Φ60×1200mm

4

加熱元件

溫區1溫區3-矽碳棒,溫區2矽钼棒

5

測溫元件

温区1温区3   S级, 温区2   B级

6

控溫方式

溫度控制采用三個高精度30段數字控溫儀控制,具有PID調節、自整定功能,30段升降溫程序

7

密封方式

不鏽鋼法蘭密封

8

真空系統

高真空系統组(达到技术要求)

9

工作溫度

温区1温区3≤1400℃     温区2≤1700℃

10

溫度

温区1温区3≤1450℃     温区2≤1750℃

11

恒溫精度

±1℃

12

恒溫區長度

总加热区长度不小于 25〞

13

建議升溫速度

温区1温区3  20℃/min      温区2     10℃/min

14

氣體流量系統

三通道質量流量控制系統(達到技術要求)

15

額定功率

10KW

16

工作電源

AC220V/50HZ/60HZ

17

標准配件

三溫區管式爐 1台,高真空系統 1套,三通道质量流量控制系统 1套,原厂配置管式炉架 1个

18

 

 

19

  


 

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